基于PLC的热交换法蓝宝石自动生长控制的实现

• 作者: 汪海波
• 来源期刊: 机电信息
• 关键词: 控制系统 两路双闭环 热交换法 生长速度
• 年，卷（期）: 2018,（15）
• 所属期刊栏目: 设计与分析
• 页码范围: 138-140
• 页数: 3页
• 字数: 3528字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-0797.2018.15.070

摘要

基于蓝宝石热交换法(HEM)晶体生长需要对高度、温度、流量、压力多个物理量进行有效控制,从功能实现、系统结构、硬件配置、软件设计等几个方面介绍了整个热交换蓝宝石晶体生长炉自动控制系统,并设计出一种两路双闭环控制单元,有效解决了炉内温度变化和底部热交换管内氦气流量变化对晶体生长速度共同影响的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪海波		2	1	1.0	1.0