基于质谱诊断的C4H8/H2等离子体状态在放电腔室的径向分布研究

• 作者: 何小珊 何智兵 张玲 杜凯 艾星 陈果
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: 径向分布 C4H8/H2等离子体 工艺参数 辉光放电聚合物
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 1943-1948,1954
• 页数: 7页
• 分类号: O539
• 字数: 4972字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2018.12.001

摘要

利用质谱研究了不同工艺参数下C4H8/H2等离子体的离子组分和能量的径向分布规律,并分析了CH片段的裂解与聚合过程.结果表明,当工作压强较低时(≤7 Pa),小分子CH片段的相对密度随径向距离的增大而逐渐减小,大分子CH片段则逐渐增多;随着工作压强的增大,CH片段的相对密度达到极值所对应的径向距离逐渐增大.当射频功率一定时,小分子CH片段的相对密度随径向距离增大而减小,大分子CH片段则逐渐增多.此外,离子能量随径向距离的增大均呈现出逐渐减小的趋势.当工作压强为3 Pa、射频功率为20 W时,C4H8/H2等离子体中CH片段的径向分布最均匀,有利于提高辉光放电聚合物薄膜结构与组分的均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玲	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	39	88	5.0	7.0
2	杜凯	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	72	527	11.0	19.0
3	何智兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	46	212	7.0	11.0
4	艾星	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	2	1	1.0	1.0
5	陈果	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	6	1.0	2.0
6	何小珊	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	15	26	4.0	4.0