外延Y3Fe5O12薄膜的制备及其磁特性的研究

• 作者: 李少珍 王秀章
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 铁磁 外延薄膜 磁阻尼因子
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 10094-10097
• 页数: 4页
• 分类号: TN61
• 字数: 1935字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.10.016

摘要

利用磁控溅射方法在Gd3Fe5O12衬底上制备外延Y3Fe5O12薄膜.在室温300 K时,改变腔内氩气压得到不同气压下制备的Y3 Fe5O12薄膜.样品都在空气中进行后退火处理,退火温度800℃/2 h,退火升温速率是180℃/h,降温速率是120℃/h.通过测试发现薄膜的特性及膜厚等都依赖沉积氩气压PAr,沉积气压为2.394 Pa时,样品的磁特性较好.为了能充分利用Y3Fe5O12纳米结构特性,利用电子束光刻蚀方法成功制备Y3Fe5O12纳米量级结构阵列,分析磁阻尼因子变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王秀章	湖北师范大学先进研究院	32	75	4.0	6.0
2	李少珍	湖北理工学院数理学院	5	3	1.0	1.0