基于管式PECVD镀膜时间的防错程序设计与应用

• 作者: 武纹平 郭丽 陈丽
• 来源期刊: 山西化工
• 学科: 工学
• 关键词: 管式PECVD 沉积时间DLV 防错 程序
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 专题讨论
• 页码范围: 108-109,113
• 页数: 3页
• 分类号: TM914.4|TP311.1
• 字数: 1476字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16525/j.cnki.cn14-1109/tq.2018.06.36

摘要

针对太阳能电池镀膜工艺中的沉积时间DLV手动录入易出错问题,提出了沉积步骤优化设计方案.该方案补充了DLV防错程序,使得操作员第一时间发现异常报警能及时处理,有效地降低了人为错误而导致产线的不合格率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈丽		6	2	1.0	1.0
2	郭丽		5	1	1.0	1.0
3	武纹平		2	1	1.0	1.0