氦氩射频容性放电发射光谱分析

• 作者: 周素素 左都罗 张秩凡 王新兵 雷鹏 高俊
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 光泵亚稳态氩气激光器 射频放电 发射光谱分析
• 年，卷（期）: 2018,（14）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 204-211
• 页数: 8页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.67.20180274

摘要

光抽运亚稳态稀有气体激光器利用放电等离子体作为激光的增益介质.为掌握容性射频放电的放电参数对等离子体各项参数的影响的基本规律,利用等离子体发射光谱法研究了氦氩混合气体在不同装置、不同Ar组分、不同气压和不同射频注入功率下的等离子体参数.利用残留水蒸气产生的OH自由基A2Σ+→X2Π的转动光谱分析获得气体温度;利用电子态光谱的玻尔兹曼做图法获得电子激发温度,利用Ar原子696.5 nm谱线的斯塔克展宽获得电子密度.结果表明:气体温度随气压增加略微上升,在一个大气压下改变组分和放电功率,气体温度变化不大;电子激发温度随总气压的下降而上升,且随着Ar组分的增加而略微下降;目前放电条件下的电子密度均在1015 cm-3量级;长时间放电监测表明,残留的水蒸气会导致电子温度的下降,从而降低Ar亚稳态的产率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左都罗	华中科技大学武汉光电国家研究中心	47	184	7.0	10.0
2	高俊	华中科技大学武汉光电国家研究中心	25	214	7.0	13.0
3	王新兵	华中科技大学武汉光电国家研究中心	55	348	10.0	16.0
4	周素素	华中科技大学武汉光电国家研究中心	2	2	1.0	1.0
5	雷鹏	华中科技大学武汉光电国家研究中心	4	7	2.0	2.0
6	张秩凡	华中科技大学武汉光电国家研究中心	2	3	1.0	1.0