四乙氧基硅烷合成尾气清洁工艺研究

• 作者: 丁冰 周俊 姜林炜 李连朋
• 来源期刊: 江西化工
• 关键词: 四乙氧基硅烷 清洁尾气 回收HCl
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 89-90
• 页数: 2页
• 字数: 942字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-3103.2018.03.031

摘要

四乙氧基硅烷(别名:正硅酸乙酯)制备过程中合成工序产生的尾气主要成分是四氯化硅、乙醇、中间产物和氯化氢.尾气中的HCl是合成三氯氢硅的重要原料,所以可以将HCl通入三氯氢硅合成炉反应,从而回收此部分的HCl.这样可以大大降低生产成本,HCl是酸性气体,因此也可以减少环境污染.在回收尾气中的HCl时,由于尾气中含有一部分的乙醇和中间产物,会对三氯氢硅合成炉造成堵塞,增加设备维修频率.所以设计此工艺目的在于清洁尾气中的乙醇和中间产物,使得进入三氯氢硅合成炉的气体只有HCl和少量不影响合成炉的四氯化硅.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜林炜		6	11	2.0	2.0
2	周俊		2	2	1.0	1.0
3	李连朋		5	1	1.0	1.0
4	丁冰		13	12	2.0	2.0