光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法

• 作者: 向阳 张璐
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 175-180
• 页数: 6页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201845.0804008

摘要

针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法, 并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项.研究结果表明, 将面形检测的绝对算法应用于检测镜头系统波像差, 在干涉仪系统误差消除后可以达到相对理想的检测精度.实验数据的重复性的均方根可以达到0.14nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张璐	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	82	1614	20.0	39.0
2	向阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	45	394	12.0	18.0