TMR单芯片微弱电流传感器的研制

• 作者: 庞振江 徐绥召 王峥 王海宝 郭海平
• 来源期刊: 电测与仪表
• 学科: 工学
• 关键词: TMR元件 高分辨率 微弱电流检测 MEMS
• 年，卷（期）: 2018,（17）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表
• 页码范围: 129-133
• 页数: 5页
• 分类号: TM933
• 字数: 2530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1390.2018.17.022

摘要

针对微弱电流的检测,提出了一种单芯片微弱电流传感器,其原理是:利用隧道磁电阻(TMR)元件作为磁场敏感元件,并将电流导体和TMR元件进行集成,以减小电流导体与磁场敏感元件的间距,提高电流测量的分辨率.结合MEMS工艺,通过优化设计TMR元件结构和电流导体结构,研制出了电流分辨率达到20μA的微弱电流传感器,为微弱电流检测提供了一种有效、廉价的解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庞振江	北京智芯微电子科技有限公司国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室	12	7	2.0	2.0
2	王峥	北京智芯微电子科技有限公司国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室	12	24	3.0	4.0
3	王海宝	北京智芯微电子科技有限公司北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心	7	17	3.0	4.0