MEMS近红外光谱仪微镜驱动控制系统研发

• 作者: 王杰 顾小杰
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扰动观测器 模型预测控制 MEMS 微镜 近红外
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 计算机与控制系统
• 页码范围: 129-133
• 页数: 5页
• 分类号: TP273
• 字数: 3494字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19708/j.ckjs.2018.11.029

摘要

针对微机电系统(MEMS)近红外光谱仪中MEMS微镜驱动系统的耦合与复杂扰动问题,提出了一种基于扰动观测器(DOB)与模型预测控制(MPC)的复合控制结构.通过分析MEMS微镜的驱动工作原理,建立MEMS微镜偏转角与驱动电压的传递函数模型,设计了MPC以消除系统耦合,通过分析系统扰动模型,设计了DOB实现对系统内部与外部扰动的集中监测.仿真研究与实验测试结果表明:基于DOB-MPC复合结构的MEMS微镜驱动控制系统,既可以有效抑制系统的外部扰动,又可以抑制由模型失配和变量耦合导致的内部扰动.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王杰	东南大学自动化学院	12	189	6.0	12.0
2	顾小杰	东南大学物理学院	2	8	1.0	2.0