TFT-LCD生产线智能破片分析平台的建立与应用

• 作者: 刘建辉 庞华山 盛大德 马荣记 高雪松
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 破片分析 接触点 智能匹配 TFT-LCD
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 信息与管理
• 页码范围: 45-46,50
• 页数: 3页
• 分类号: TN873.93
• 字数: 1552字
• 语种: 中文

摘要

针对TFT-LCD生产线彩色滤光片制作过程中频发的玻璃基板破片问题,构建基于OIC/YMS系统的破片分析数据库软件平台,通过基板在生产线传送过程中与各类设备机构接触点数据库、历史破片破裂点Mapping数据库、基板生产线履历数据库相结合,形成OIC (Operator interface client)录入、YMS (Yield management system)查询的客户端查询平台,实现由软件查询匹配分析替代人工分析,随着数据的积累,可实现快速锁定碎片发生设备、提升分析结果的准确性,并输出针对破片的有效预防项目和维护周期,从而实现破片率的降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高雪松		9	7	1.0	1.0
2	庞华山		13	21	3.0	4.0
3	盛大德		10	15	2.0	3.0
4	马荣记		1	1	1.0	1.0
5	刘建辉		1	1	1.0	1.0