篇名 | Improvement of thermal stability of nickel germanide using nitrogen plasma pretreatment for germanium-based technology | ||
来源期刊 | 中国科学 | 学科 | 工学 |
关键词 | 硅 生产工艺 通信技术 发展现状 | ||
年,卷(期) | zgkx_2018,(10) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 273-275 | |
页数 | 3页 | 分类号 | TN304.12 |
字数 | 语种 | 中文 | |
DOI |