采用旋转光程法提高PSD微小角度测量分辨率

• 作者: 刘力双 王海月 王艳林 耿蕊 陈青山
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: PSD 光程 分辨率
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量与检测
• 页码范围: 100-103
• 页数: 4页
• 分类号: TN318
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2018.01.100

摘要

基于PSD的微小角度测量的测量方法中光程越大,分辨率越高.对于高精度精密测量组件,特别是光机电一体化的组件,有限空间限制了光程长度,角分辨率通常只有十几微弧度,因此提高角分辨率的困难之处在于有限空间的结构件中加大光程.论文提出一种新型旋转型光路装置,充分利用空间,增加光程以提高分辨率.实验结果表明,所提出的旋转光路拉伸法可以有效地提高角分辨率,通过旋转光路设置将光程由108mm提高至500mm时,分辨率由14 μrad提高到3μrad.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘力双	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	55	162	7.0	10.0
2	陈青山	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	52	113	6.0	8.0
3	王艳林	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	32	89	6.0	7.0
4	耿蕊	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	20	54	4.0	6.0
5	王海月	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	1	2	1.0	1.0