xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的制备与铁电、介电特性研究

• 作者: 孙科学 常月欣 张淑仪 成谢锋
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 钙钛矿结构 射频磁控溅射沉积 铁电性 居里温度
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 9174-9179
• 页数: 6页
• 分类号: TB34|TB79|O426.9
• 字数: 3037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.09.033

摘要

利用射频磁控溅射方法,在单晶MgO(100)及缓冲层异质结构基底上沉积La掺杂的xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜.通过调控靶材配比和溅射参数,研究了溅射中由于基底加热造成的溅射过程中的薄膜失铅、失铋现象,同时对磁控溅射参数进行了调控和研究,得到了优化的溅射制备条件.利用XRD、SEM、EDS、铁电分析仪等仪器,并对不同BiInO3组分对薄膜性能的影响进行研究,包括对薄膜的生长取向、形貌、铁电性和居里温度等进行研究,获得综合性能良好的高铁电性、高居里温度的铁电薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成谢锋	南京邮电大学电子与光学工程学院	79	608	14.0	20.0
3	张淑仪	南京大学近代声学教育部重点实验室	85	578	14.0	21.0
6	孙科学	南京邮电大学电子与光学工程学院	47	197	7.0	12.0
15	常月欣	南京邮电大学电子与光学工程学院	2	0	0.0	0.0