现代传感器中的微电容检测技术

• 作者: 闫世源
• 来源期刊: 电子制作
• 关键词: 微电容检测 微加速度器 微陀螺 微压力传感器
• 年，卷（期）: 2018,（19）
• 所属期刊栏目: 电子测量
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 字数: 2635字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-5059.2018.19.021

摘要

本文介绍了微电容检测在原理、制作和应用上的优势.综述了微电容检测技术在微加速度传感器、微陀螺和微压力传感器上的应用,并详细阐述了微电容检测电路的基本原理.最后分析总结了微电容检测技术的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫世源		1	0	0.0	0.0