基于腔内倍频的457nm激光器高反射腔镜的研制

• 作者: 付秀华 刘冬梅 张功 张静 李五一
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 腔面高反射膜 倍频反射 膜厚控制 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 材料与薄膜
• 页码范围: 132-136
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201845.1103001

摘要

基于倍频反射膜的设计理论,结合膜系设计软件实现了多波段激光腔面高反射膜的设计.在制备过程中,基于最小二乘法原理建立了残余蒸镀量与膜层厚度之间的关系式,解决了膜厚控制误差累积导致薄膜光谱性能变差的问题.制备的薄膜在457 nm和914 nm波长处的反射率分别为99.9％和99.6％,在808,1064,1342 nm波长处的透射率分别为97.2％、96.8％和93.1％,满足457 nm激光器的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华		141	525	11.0	15.0
2	张静		67	132	6.0	8.0
3	刘冬梅		49	107	5.0	8.0
4	张功		7	6	2.0	2.0
5	李五一		1	0	0.0	0.0