加热温度对Ni-P/Ti/DLC多层膜力学性能的影响

• 作者: 唐昆 张健 彭文波 朱勇建 王宇 谭可成
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 加热温度 力学性能 多层膜 纳米压痕 纳米划痕
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 专题-高表面完整性加工
• 页码范围: 52-58
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.07.007

摘要

目的 研究不同加热温度对Ni-P/Ti/DLC多层膜力学性能的影响.方法 用化学镀镍磷工艺在模具钢基体上镀Ni-P层作切削层,采用过滤阴极真空电弧(FCVA)技术分别沉积Ti过渡层和DLC保护层.利用拉曼光谱分析了多层膜表层在不同加热温度下的结构成分,采用纳米压痕、纳米划痕和扫描电镜对多层膜的硬度和弹性模量、膜层结合性能以及划痕表面形貌进行了表征.结果 拉曼光谱检测结果表明,随着加热温度的升高,多层膜表层DLC膜中的AD/AG值及sp2键含量增大,且400℃时AD/AG值的变化幅度明显增大.纳米压痕实验结果表明,多层膜的硬度和弹性模量随着温度的升高呈先增后减的趋势,且在300℃时达到最大,纳米压痕过程中膜层未出现破裂现象.纳米划痕实验及SEM观测结果表明,多层膜的临界载荷A1随着加热温度的升高而增加,临界载荷A2在25～200℃区间没有明显变化,而在300～400℃区间显著增大.结论 在加热温度达到400℃时,多层膜表层DLC膜的石墨化倾向显著.加热温度为300℃时,多层膜的力学性能及膜层间的结合性能较优,而400℃时膜层间的结合性能及抑制裂纹扩展能力减弱,且膜层具有较大的塑性.因此,适宜的加热温度有利于提高多层膜的力学性能和膜层间的结合性能.