硅晶圆分层划片工艺试验研究

• 作者: 尹韶辉 张俊杰 杨宏亮 耿军晓 陈逢军
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅晶圆 单次划片 分层划片 崩边 相对缝宽 切削力 划切质量
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 专题-高表面完整性加工
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TH161
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.07.001

摘要

目的 优化硅晶圆划片工艺参数,提高划片质量.方法 提出一种硅晶圆分层划片工艺方法,利用自主研发的精密全自动划片机,通过全因素试验,研究了主轴转速、进给速度和切削深度等工艺参数对分层划片与传统单次划片的工艺性能的影响,检测了崩边宽度、相对缝宽、切缝表面粗糙度,通过检测划片过程中主轴电流大小来间接反映切削力的大小.最后对分层划片工艺进行优化试验,得出最佳工艺参数组合.结果 随着划片深度的增加,主轴电流增大,进给速度对主轴电流的影响较小,分层划片可以有效减少划片过程产生的切削力,提高划切效果.分层划片试验发现,随主轴转速的增加,相对缝宽增大;随进给速度增大,相对缝宽先减小后增大.进给速度为15 mm/s,转速为10000 r/min时,相对缝宽最小,为1.048.随着主轴转速的增加,崩边宽度减小;随着进给速度的增大,崩边宽度增大.进给速度为1 mm/s,转速为25000 r/min时,崩边宽度最小,为5.31μm.结论 与传统单次划片方式相比,分层划片工艺能够得到更好的划片效果,可一定程度上降低崩边宽度,减小相对缝宽值,减少微裂纹,提高划切质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈逢军	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	43	418	10.0	18.0
2	尹韶辉	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	66	540	12.0	20.0
3	耿军晓	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	2	7	2.0	2.0
4	杨宏亮	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	1	4	1.0	1.0
5	张俊杰	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	1	4	1.0	1.0