光学谐振腔式湿度传感器的研究进展

• 作者: 张勐 张彦军 文丰 赵学峰 闫树斌 韵力宇
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 谐振腔 品质因数 灵敏度
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 1-5,17
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 2273字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2018)11-0001-05

摘要

对当前光学谐振腔式湿度传感器领域的最新研究进展进行了综述,比较了基于微环、微结和回音壁式谐振腔的湿度传感器的光学品质因数Q、灵敏度等关键特性,并对此类湿度传感器的未来发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张彦军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	45	165	6.0	10.0
2	闫树斌	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	33	65	5.0	6.0
3	文丰	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	44	321	10.0	16.0
4	韵力宇		5	17	2.0	4.0
5	张勐	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	2	1.0	1.0
6	赵学峰	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	14	2.0	2.0