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SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展
SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展
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摘要：
综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状.
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研究起点
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期刊影响力
传感器与微系统
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1000-9787
CN：
23-1537/TN
开本：
大16开
出版地：
哈尔滨市南岗区一曼街29号
邮发代号：
14-203
创刊时间：
1982
语种：
chi
出版文献量（篇）
9750
总下载数（次）
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