CVD法制备氮化硼陶瓷的化学反应热力学研究

• 作者: 任海涛
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 氮化硼陶瓷 CVD 热力学计算 气相反应
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 创新思维
• 页码范围: 67-68
• 页数: 2页
• 分类号: TQ174.75+8.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.15913/j.cnki.kjycx.2018.04.067

摘要

针对BCl3-NH3-H2制备氮化硼陶瓷体系,基于已建立的热力学数据库,根据化学平衡原理,对B-N体系进行了热力学产物平衡浓度分布研究,计算得到在典型CVD工艺参数下体系中重要产物的平衡浓度分布,以及相关重要固相产物包括固相B、h-BN、c-BN和w-BN分布规律,为实验研究提供可靠的理论参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任海涛	天津大学材料科学与工程学院	6	1	1.0	1.0