利用量子化学方法研究CVD反应机理

• 作者: 任海涛
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: CVD反应机理 热力学 量子化学 气相反应
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 创新实践
• 页码范围: 111-112
• 页数: 2页
• 分类号: TM615
• 语种: 中文
• DOI: 10.15913/j.cnki.kjycx.2018.03.111

摘要

详细介绍了通过量子化学结合统计及经典热力学对CVD体系进行的化学反应热力学研究,阐述了国内外相关的研究进展,指出了研究CVD反应机理目前存在的问题以及未来研究的重点,介绍了如何通过可靠的理论计算建立CVD体系相对完整的热力学数据库,以及对CVD体系反应机理的理论预测方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任海涛	天津大学材料科学与工程学院先进陶瓷加工技术教育部重点实验室	6	1	1.0	1.0