微电子工艺和器件仿真实验课程体系的建设

• 作者: 张林 李清华 汪贵平 邱彦章 闫茂德
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 地球科学
• 关键词: 微电子工艺 微电子器件 实验 仿真
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 实验教学与创新
• 页码范围: 202-204,208
• 页数: 4页
• 分类号: G434|N45
• 字数: 4604字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7167.2018.05.046

摘要

为了解决传统微电子工艺和器件实验课程对硬件条件要求高、费用高、耗时长、效果差等问题,将仿真技术应用于微电子工艺和器件实验课程体系建设,设计并实践了包括演示性、验证性、设计性以及综合性等在内的多种类型的实验.相比于工艺和测试的实验方法,应用仿真技术的实验可以更灵活的形式和更丰富的内容覆盖更广的专业课程知识,并与专业课程知识紧密衔接,同时也易于提升实验的开放性.从而有助于提升学生的动手实践能力、增强学生对微电子工艺和器件课程理论知识的理解、提升学习兴趣.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪贵平	长安大学电子与控制工程学院	80	417	11.0	18.0
2	闫茂德	长安大学电子与控制工程学院	83	798	17.0	25.0
3	张林	长安大学电子与控制工程学院	36	203	8.0	13.0
4	李清华	长安大学电子与控制工程学院	5	12	2.0	3.0
5	邱彦章	长安大学电子与控制工程学院	22	68	6.0	7.0