多自由度运动误差在线测量系统设计

• 作者: 杨博
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 激光干涉仪 多自由度 运动误差 测量稳定性 在线测量 系统设计
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 电子与信息器件
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: TN98-34|TN913
• 语种: 中文
• DOI: 10.16652/j.issn.1004-373x.2018.08.006

摘要

针对传统多自由度运动误差测量系统一直存在易受工作环境影响,误差测量稳定性差的问题,提出并设计基于激光干涉仪的多自由度运动误差在线测量系统.通过分析激光干涉仪误差测量原理,在传统运动误差测量系统中引入激光干涉仪,利用激光干涉现象对多自由度运动物体精确测定,建立多自由度运动误差在线测量数学模型,实现多自由度运动误差的测量.实验结果表明,相比传统测量系统,改进设计的多自由度运动误差在线测量系统,具有良好的抗干扰能力及较高的测量准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨博		14	9	2.0	2.0