化学气相沉积法制备六方氮化硼薄膜的研究进展

• 作者: 张鑫宇 徐志威 徐紫巍 朱家光
• 来源期刊: 广东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 六方氮化硼 化学气相沉积法 催化剂衬底
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 123-124,122
• 页数: 3页
• 分类号: TQ
• 字数: 4370字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1865.2018.05.055

摘要

六方氮化硼(h-BN)最早于20世纪早期被合成得到.由于其具有高熔点,热膨胀系数小,热导率高等优点,20世纪50年代起,世界上开始用各种方法合成获得了六方氮化硼薄膜,并将其广泛应用于工业生产各个领域.本文主要介绍了近年来用化学气相沉积法在不同衬底上制备六方氮化硼薄膜的研究进展,归纳了不同衬底对六方氮化硼薄膜的尺寸、质量、形貌等方面的影响,为实验和理论研究六方氮化硼CVD生长机制提供相应的文献参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鑫宇	江苏大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0
2	徐志威	江苏大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0
3	朱家光	江苏大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0
4	徐紫巍	江苏大学材料科学与工程学院	4	5	1.0	2.0