基于肖特基式场发射阴极的高分辨X射线显微技术开发进展

• 作者: 刘华荣
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: X射线显微镜 肖特基式场发射阴极
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 理论与算法
• 页码范围: 53-54
• 页数: 2页
• 字数: 2585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8519.2018.09.020

摘要

X射线显微镜具有分辨率高、透视成像等特点,成为不可替代的无损检测手段.国外近年来出现了一种基于肖特基式场发射阴极的X射线显微镜,其分辨率可达0.1m以内.本文系统分析了该显微镜的工作原理,并对显微镜的未来发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘华荣	中国电子科技集团公司第三十八研究所	4	4	1.0	2.0