高品质三氯氢硅中碳含量的控制

• 作者: 何茂魁 李仕勇 耿志萍 赵生艳 黄杰
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 碳杂质 控制
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 分析测试
• 页码范围: 108-109
• 页数: 2页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2355字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2018.05.070

摘要

改良西门子法生产的多晶硅,其产品质量中碳杂质的一个重要来源是原料高品质三氯氢硅中的甲基氯硅烷,而四氯化硅冷氢化法生产的原料粗三氯氢硅,在精馏过程中较难脱除的甲基氯硅烷是甲基二氯氢硅和三甲基氯硅烷,在生产中,结合工艺流程优化控制方法,实现产品三氯氢硅中甲基氯硅烷的稳定控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵生艳		3	3	1.0	1.0
5	李仕勇		2	2	1.0	1.0
9	黄杰		2	2	1.0	1.0
10	耿志萍		1	1	1.0	1.0
11	何茂魁		1	1	1.0	1.0