二氧化硅干法蚀刻参数的优化分析

• 作者: 宫小龙 王坤坤
• 来源期刊: 环球市场
• 关键词: 二氧化硅干法蚀刻 参数 优化
• 年，卷（期）: 2018,（16）
• 所属期刊栏目: 科技纵横
• 页码范围: 366
• 页数: 1页
• 字数: 2050字
• 语种: 中文

摘要

本文首先阐述了二氧化硅干法蚀刻的主要原理,采用正交实验的方式,对蚀刻速率、均匀程度以及选择比等蚀刻参数方面进行了分析和优化,希望为蚀刻工艺参数的设置和调整提供一定的参考和借鉴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宫小龙		2	0	0.0	0.0
2	王坤坤		2	0	0.0	0.0