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微机电系统科学与技术发展分析
微机电系统科学与技术发展分析
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摘要：
微电机系统,通过结合微电子技术与机械工程形成的工业技术,操作可以在微米范围内完成.通过分析问微机电系统科学技术发展现状,对其未来发展进行阐述.
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主办单位：
电脑报社
出版周期：
旬刊
ISSN：
1672-528X
CN：
50-1163/TP
开本：
16开
出版地：
重庆市渝中区双钢路3号科协大厦1202（武汉市洪山区珞狮北路2号樱花大厦A座15楼 430070）
邮发代号：
78-230
创刊时间：
2003
语种：
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