亚波长光栅反射镜的制备及应用

• 作者: 张家斌 王志伟 王霞 谢检来
• 来源期刊: 电子世界
• 关键词: 光栅 垂直腔面发射激光器 应力
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 173-174
• 页数: 2页
• 字数: 2292字
• 语种: 中文

摘要

论文主要是围绕垂直腔面发射激光器(VCSEL)中亚波长光栅反射镜的制备技术开展研究,通过阅读大量的国内外文献,了解垂直腔面发射激光器的基本原理和结构,及其优良的性能和广泛的应用前景.掌握亚波长光栅独特的衍射特性及其在垂直腔面发射激光器(VCSEL)中的应用,通过分析和设计亚波长光栅结构,优化工艺流程和参数,实现亚波长光栅的制备,使其满足VCSELs的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张家斌	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	8	48	3.0	6.0
2	王志伟	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	3	5	2.0	2.0
3	王霞	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	6	11	3.0	3.0
4	谢检来	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	3	5	2.0	2.0