Color Filter Rework设备处理流程及工艺优化

• 作者: 钟义顺
• 来源期刊: 大科技
• 学科: 工学
• 关键词: Rework Glass基板 Strip
• 年，卷（期）: 2018,（32）
• 所属期刊栏目: 科技探索与应用
• 页码范围: 324
• 页数: 1页
• 分类号: TN873.93
• 字数: 1602字
• 语种: 中文

摘要

Color Filter是TFT_LCD的重要组成部分,也是其性能参数的重要决定因数.Rework生产线是彩色过滤片(简称CF)各段制程产生的不良基板回收处理设备.本文简单介绍了CF结构及不同线体制程发生的NG Glass基板,回收至Rework设备时,对应的Rework处理流程(Etch(蚀刻)处理流程、Strip(剥离)处理流程)及工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟义顺		1	0	0.0	0.0