黄光产线基板NG原因及处理方法

• 作者: 刘洪艳 李海丽
• 来源期刊: 大科技
• 学科: 经济
• 关键词: 基板NG Rework工艺 光阻固化
• 年，卷（期）: 2018,（32）
• 所属期刊栏目: 科技探索与应用
• 页码范围: 308
• 页数: 1页
• 分类号: F416.63
• 字数: 1635字
• 语种: 中文

摘要

彩色滤光片生产工艺中每道工序都会因设备异常或其他原因造成基板NG,本论文包含对基板NG原因进行简要分析主要分为四种涂布异常、曝光异常、显影异常、以及基板表面Particle(微尘颗粒),分别针对不同原因造成NG通过Rework清洗工艺实现半成品再生,根据2018年上半年Rework清洗数据分析总结基板可放置最长时间及上线跟踪后的良率状况,最后概括一下Rework工艺处理产线NG基板主要问题和注意事项.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李海丽		2	0	0.0	0.0
2	刘洪艳		1	0	0.0	0.0