蓝宝石表面亚波长减反射结构的制备研究

• 作者: 何春凤 赵嘉雯
• 来源期刊: 大科技
• 学科: 物理学
• 关键词: 飞秒激光加工 蓝宝石 湿法刻蚀 亚波长 减反射
• 年，卷（期）: 2018,（18）
• 所属期刊栏目: 研究园地
• 页码范围: 323-324
• 分类号: O436.1
• 字数: 1659字
• 语种: 中文

摘要

我们采用飞秒激光直写加工技术结合湿法刻蚀技术在蓝宝石晶体表面制备了仿生蛾眼亚波长减反射结构,增加了蓝宝石晶体在中红外波段的透过率.首先,我们优化了激光加工参数包括激光能量、偏振状态等,使得激光加工蓝宝石的刻线精度达到200nm.然后在蓝宝石表面制备了亚波长的金字塔型减反射结构阵列,其在3~5μm波段的峰值透过率可以达到91%,对发展红外技术具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何春凤	吉林大学物理学院	3	6	1.0	2.0
2	赵嘉雯		1	0	0.0	0.0