四氟化硅的研究进展

• 作者: 何元琴
• 来源期刊: 建材与装饰
• 学科: 工学
• 关键词: 四氟化硅 研究进展 制备工艺
• 年，卷（期）: 2018,（32）
• 所属期刊栏目: 经济·管理·综述
• 页码范围: 188-189
• 页数: 2页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2454字
• 语种: 中文

摘要

四氟化硅是目前电子工业的重要原料,特别是在多硅晶行业的快速发展下,四氟化硅需求量显著提升,相关研究也取得了显著进展.本文将对四氟化硅研究进展进行总结和分析,包括氟硅酸盐热解工艺、硫酸法制备工艺、氢氟酸法制备工艺等.