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摘要:
对于电子制造业如硅外延芯片生产制造的厂家或者企业来讲,外延芯片的生产质量控制非常重要.本文主要阐述了基于SPC的硅外延芯片生产质量控制系统的功能设计,进而对基于SPC的硅外延芯片生产质量控制做出了进一步分析.
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文献信息
篇名 基于SPC的硅外延芯片生产质量控制分析
来源期刊 环球市场 学科
关键词 SPC 硅外延 质量控制
年,卷(期) 2018,(5) 所属期刊栏目 科技纵横
研究方向 页码范围 351
页数 1页 分类号
字数 2330字 语种 中文
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硅外延
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