多点接触微纳米加工设备的在线检测系统设计

• 作者: 何子正
• 来源期刊: 数字化用户
• 关键词: 扫描探针 纳米加工 摩擦力 实时检测
• 年，卷（期）: 2018,（23）
• 所属期刊栏目: 工程技术
• 页码范围: 73
• 页数: 1页
• 字数: 2174字
• 语种: 中文

摘要

纳米技术是21世纪的标志性技术,纳米加工技术是支撑纳米科技走向应用的基础.扫描探针技术由于其加工分辨率高、设备成本低等特点,在纳米器件的制造中具有广阔的应用前景.然而,单针尖模式的扫描或加工效率较低,制约了其推向市场化的脚步.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何子正		1	0	0.0	0.0