微芯片爆炸箔起爆器及其平面高压开关研究进展

• 作者: 张秋 徐聪 朱朋 杨智 沈瑞琪 覃新
• 来源期刊: 含能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微芯片爆炸箔起爆系统(McEFIs) 电容放电单元 微芯片爆炸箔起爆器(McEFI) 平面高压开关 研究进展
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 167-176
• 页数: 10页
• 分类号: TJ45
• 字数: 7928字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11943/CJEM2018146

摘要

爆炸箔起爆系统(Exploding Foil Initiator system,EFIs)的每一次技术升级都伴随着设计理念和制造工艺的革新,尤其是微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)和低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramics,LTCC)工艺,极大地促进了微芯片爆炸箔起爆系统(Micro Chip Exploding Foil Initiator system,McEFIs)的发展.简要分析了两种工艺制备微芯片爆炸箔起爆器(Micro Chip Exploding Foil Initiator,McEFI)的优缺点,列举了几种平面高压开关在电容放电单元(Capacitor Discharge Unit,CDU)中的工作性能,得出了开关的设计思路和研究方法的可行性.基于MEMS工艺和LTCC工艺制备及研究McEFI、平面高压开关和平面高压开关集成McEFI,分别总结了国内外的研究进展.提出了重点研究方向:深入研究MEMS工艺制备McEFI及其平面高压开关,以达到工程化应用;采用LTCC工艺,一体化烧结可制备具有独石结构的平面高压开关和McEFI.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈瑞琪	南京理工大学化工学院	171	1017	16.0	20.0
2	杨智	南京理工大学化工学院	18	157	8.0	12.0
3	朱朋	南京理工大学化工学院	30	147	7.0	10.0
4	徐聪	南京理工大学化工学院	5	9	2.0	3.0
5	张秋	南京理工大学化工学院	2	2	1.0	1.0
6	覃新	南京理工大学化工学院	2	2	1.0	1.0