蓝宝石衬底倒角长度均匀性研究

• 作者: 周志豪 李彬彬 胡中伟 谢斌晖 陈启福 陈铭欣
• 来源期刊: 机械工程与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石衬底 倒角 倒角长度 均匀性
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TN3

摘要

本文通过对蓝宝石衬底倒角工艺的分析,探讨衬底边缘倒角长度均匀性的影响因素及其影响规律。测量衬底边缘5个位置点的倒角长度,计算倒角长度的均匀性(CU%)。通过开展倒角试验,分析了磨削速度、砂轮表面磨粒状态以及衬底面形精度对倒角长度均匀性的影响。试验结果表明:随着磨削速度的提高,倒角长度均匀性有所提高,但速度继续增大时,倒角长度均匀性会变差。随着倒角片数的增加,砂轮表面磨粒状态趋于稳定,倒角长度均匀性变好。但随着砂轮磨损到一定程度时,CU%的标准差逐步变大。衬底的TTV和Warp值对倒角长度均匀性也有着较为重要影响,TTV和Warp越小的衬底,倒角长度均匀性越好。最后分析了倒角长度对衬底后续光阻涂布良率的影响,发现倒角长度在80 μm以上,可获得较高的良率。