一体式石英振梁加速度计工程化研究进展

• 作者: 刘平 杨挺 杨贵玉 路文一 金小锋
• 来源期刊: 遥测遥控
• 学科: 工学
• 关键词: 石英振梁加速度计 晶圆级键合 全温稳定性 振动整流误差
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 论文与技术报告
• 页码范围: 39-45
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 字数: 3112字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1000.2019.02.006

摘要

一体式石英振梁加速度计是一种高精度谐振式MEMS惯性传感器.针对现有石英振梁加速度计存在的体积大、全温及力学环境适应性不足等问题,提出一种基于三层石英结构的一体式石英振梁加速度计的设计方案.通过突破高精度薄梁腐蚀及晶圆级键合两项关键技术,成功研制出加速度计样机.经测试,产品全温稳定性优于0.5mg,振动整流误差优于200μg/g2(@15.68g rms),可以满足中高精度惯性导航应用需求.后续期望通过原位温度补偿及直接键合等技术进一步提升一体式石英振梁加速度计的全温精度及长期稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金小锋		6	23	3.0	4.0
2	杨贵玉		5	17	2.0	4.0
3	杨挺		3	12	1.0	3.0
4	刘平		1	1	1.0	1.0
5	路文一		1	1	1.0	1.0