化学气相沉积石墨烯薄膜的洁净转移

• 作者: 张晓波 李雪松 青芳竹
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 石墨烯 化学气相沉积 转移 污染
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 特邀综述
• 页码范围: 1-11
• 页数: 11页
• 字数: 5859字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.68.20190279

摘要

石墨烯因其优异的性能在很多领域具有广阔的应用前景.目前石墨烯薄膜主要是以铜作为催化基底,通过化学气相沉积法制备.这种方法制备的石墨烯薄膜需要被转移到目标基底上进行后续应用,而转移过程则会对石墨烯造成污染,进而影响石墨烯的性质及器件的性能.如何减少或避免污染,实现石墨烯的洁净转移,是石墨烯薄膜转移技术研究的重要课题,也是本综述的主题.本综述首先简单介绍了石墨烯的转移方法;进而重点讨论由于转移而引入的各种污染物及其对石墨烯性质的影响,以及如何抑制污染物的引入或如何将其有效地去除;最后总结了石墨烯洁净转移所存在的挑战,展望了未来的研究方向和机遇.本综述不仅有助于石墨烯薄膜转移技术的研究,对整个二维材料器件的洁净制备也将有重要参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓波	电子科技大学电子科学与工程学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	0	0.0	0.0
2	青芳竹	电子科技大学电子科学与工程学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
3	李雪松	电子科技大学电子科学与工程学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0