表面多孔硅层对单晶硅太阳电池性能的影响

• 作者: 吕国良 张航 徐甲然 杨秀钰 石岱星 陈吉堃 陈诺夫 陶泉丽
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳电池 多孔硅 反射率 快速热处理 磷扩散
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 187-194
• 页数: 8页
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.03.003

摘要

反射率对太阳电池的性能至关重要.采用电化学法在单晶硅衬底上制备多孔硅来降低器件的反射率,并采用快速热退火法对多孔硅层进行磷扩散处理,进而制备了单晶硅太阳电池.扫描电子显微镜(SEM)显示出单晶硅表面形成了孔径均匀的多孔硅层,且孔径随着刻蚀时间的增加而增大;紫外-可见光分光光度计表明,该多孔硅层的反射率在400～1 100 nm的光谱范围达到12％;磷扩散后薄层方块电阻达到42 Ω/□,证明多孔硅层促进了磷扩散.最终在850℃、40 s快速热退火扩散条件下,成功制备出了效率为12.32％、短路电流密度为27.99 mA/cm2、开路电压为0.49 V以及填充因子达到71％的太阳电池.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈诺夫	华北电力大学可再生能源学院	22	33	3.0	4.0
2	陶泉丽	华北电力大学可再生能源学院	10	13	2.0	3.0
3	张航	华北电力大学可再生能源学院	6	4	2.0	2.0
4	陈吉堃	北京科技大学材料学院	11	16	2.0	3.0
5	杨秀钰	华北电力大学可再生能源学院	4	2	1.0	1.0
6	徐甲然	华北电力大学可再生能源学院	4	2	1.0	1.0
7	石岱星	华北电力大学可再生能源学院	2	0	0.0	0.0
8	吕国良	华北电力大学可再生能源学院	1	0	0.0	0.0