动态真空校准装置的设计

• 作者: 习振华 孙雯君 成永军 李得天 袁征难 裴晓强
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空计量 动态真空 校准装置 非平衡态 响应时间 真空计
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 量值传递技术
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TB771
• 字数: 3658字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12060/j.issn.1000-7202.2019.01.08

摘要

动态真空校准装置由供气系统、抽气系统、校准系统、烘烤系统、测控及分析系统五部分组成.利用快开超高真空插板阀与限流元件组合的方法, 在20ms至1s的时间范围内实现标准压力105Pa至100Pa范围的瞬态阶跃变化.采用稀薄流下DSMC法与连续流下Navier-Stokes方程相结合的模型, 确定快速膨胀过程中标准压力时间常数.动态真空校准装置预计达到的技术指标为校准范围10-1Pa～105Pa, 合成标准不确定度小于15％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	55	149	6.0	9.0
2	成永军	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	34	75	6.0	7.0
3	孙雯君	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	16	34	4.0	5.0
4	习振华	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	10	21	2.0	3.0
5	袁征难	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	2	8	2.0	2.0
6	裴晓强	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	3	2	1.0	1.0