抗磁悬浮原理在执行与传感方面的应用研究及发展

• 作者: 丁建桥 张自军 武科迪 苏宇锋
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 抗磁悬浮 磁悬浮 微器件 传感 微电子机械系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 技术论坛
• 页码范围: 177-186
• 页数: 10页
• 分类号: TH703|TP212
• 语种: 中文

摘要

抗磁悬浮是利用物质对磁场的排斥力实现磁悬浮,作为磁悬浮技术的一个分支,是一种真正意义上的无接触悬浮.按照不同的应用领域,从传感器、执行器、能量采集器、生物科学以及自组装等方面对抗磁悬浮结构进行了具体的介绍,概述了抗磁悬浮在各个领域的工作原理、结构组成以及适用范围,分析了抗磁悬浮发展现状及应用前景.研究得出抗磁悬浮具有室温下无源工作、自主稳定悬浮以及适宜在微器件尺度下使用等优点,其系统简单、可靠性高、系统体积小且质量轻,在工程技术上有重大的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏宇锋	郑州大学机械工程学院	36	162	8.0	11.0
2	丁建桥	郑州大学机械工程学院	5	6	2.0	2.0
3	武科迪	郑州大学机械工程学院	2	1	1.0	1.0
4	张自军		5	3	1.0	1.0