直热式ITO靶材热压设备的设计

• 作者: 刘舒 步怀立 陈正伟 高光伟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: ITO靶材 装备设计 仿真
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 78-81
• 页数: 4页
• 分类号: TG156
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.01.12

摘要

随着平面显示技术的发展,氧化铟锡(ITO)靶材的需求大增,然而国内生产的靶材多为低密度的中低端产品,ITO靶材的制备目前多采用的是热压烧结的形式,实现ITO靶材的制备突破研制合适的装备及工艺成为焦点问题.本文结合直热式制备ITO靶材工艺给出了ITO靶材热压炉中核心加热区的设计方法,并利用ANSYS软件对设计完成的石墨模具进行了仿真分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈正伟		2	0	0.0	0.0
2	高光伟		2	0	0.0	0.0
3	刘舒		3	0	0.0	0.0
4	步怀立		2	1	1.0	1.0