钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
工业技术期刊
\
无线电电子学与电信技术期刊
\
强激光与粒子束期刊
\
容性耦合射频氩等离子体放电诊断研究及仿真模拟
容性耦合射频氩等离子体放电诊断研究及仿真模拟
作者:
何湘
刘冲
庞佳鑫
朱寒
陈秉岩
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
容性耦合射频放电
等离子体
COMSOL仿真模拟
光谱法诊断
等效电路法
摘要:
针对中等气压、中等功率下射频容性耦合(CCRF)等离子体的放电特性,采用基于流体模型的COMSOL软件仿真,建立一维等离子体放电模型,以Ar为工作气体,研究同一气压时不同射频输入功率下等离子体电子温度和电子密度的分布规律.同时依据仿真模型设计制作相同尺寸的密闭玻璃腔体和平板电极,实验测量了不同射频输入功率时放电等离子体的有效电流电压及发射光谱,进而计算等离子体的电子温度及电子密度;利用玻耳兹曼双线测温法,得到光谱法下等离子体的电子温度及电子密度.结果表明:当气体压强为250 Pa、输入功率为100~450 W时,等离子体电压电流呈线性关系,电子密度随功率的增大而增大,而电子温度并未随功率的变化而有明显变化,其与功率无关.运用仿真模拟验证了实验的准确性,通过比较,三种方法所得的结果相近.通过结合等效回路法、光谱法和数值模拟仿真法初步诊断出中等气压下等离子体的放电参数,提出了结合三种方法作为实验研究的方法,使实验结果更具说服力,证明其方法的可靠性,也为进一步的等离子体特性研究提供依据.
暂无资源
收藏
引用
分享
推荐文章
容性耦合射频放电等离子体的仿真模拟与实验诊断研究
容性耦合射频放电
等离子体
实验诊断
COMSOL仿真
放电毛细管等离子体模拟研究
放电毛细管
等离子体
数值模拟
远程氩等离子体表面灭菌研究
远程氩等离子体
金黄色葡萄球菌
表面灭菌
不同初始温度下氩等离子体演化过程研究
氩等离子体
粒子浓度
数值模拟
演化规律
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
容性耦合射频氩等离子体放电诊断研究及仿真模拟
来源期刊
强激光与粒子束
学科
物理学
关键词
容性耦合射频放电
等离子体
COMSOL仿真模拟
光谱法诊断
等效电路法
年,卷(期)
2019,(3)
所属期刊栏目
ICF与激光等离子体
研究方向
页码范围
8-15
页数
8页
分类号
O531
字数
4197字
语种
中文
DOI
10.11884/HPLPB201931.180329
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
陈秉岩
河海大学理学院
36
176
5.0
12.0
2
刘冲
河海大学理学院
8
30
3.0
5.0
3
何湘
河海大学理学院
8
13
2.0
2.0
4
庞佳鑫
河海大学理学院
1
1
1.0
1.0
5
朱寒
河海大学理学院
4
2
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(129)
共引文献
(59)
参考文献
(16)
节点文献
引证文献
(1)
同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
1966(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1989(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1990(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1992(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
1993(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1994(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1995(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
1996(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1997(5)
参考文献(0)
二级参考文献(5)
1998(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
1999(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
2000(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2001(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
2002(3)
参考文献(1)
二级参考文献(2)
2003(6)
参考文献(0)
二级参考文献(6)
2004(5)
参考文献(1)
二级参考文献(4)
2005(9)
参考文献(1)
二级参考文献(8)
2006(6)
参考文献(1)
二级参考文献(5)
2007(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
2008(5)
参考文献(1)
二级参考文献(4)
2009(7)
参考文献(0)
二级参考文献(7)
2010(8)
参考文献(0)
二级参考文献(8)
2011(11)
参考文献(0)
二级参考文献(11)
2012(8)
参考文献(0)
二级参考文献(8)
2013(9)
参考文献(2)
二级参考文献(7)
2014(8)
参考文献(0)
二级参考文献(8)
2015(12)
参考文献(2)
二级参考文献(10)
2016(10)
参考文献(2)
二级参考文献(8)
2017(4)
参考文献(3)
二级参考文献(1)
2018(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
2019(1)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2019(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
容性耦合射频放电
等离子体
COMSOL仿真模拟
光谱法诊断
等效电路法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
强激光与粒子束
主办单位:
中国工程物理研究院
中国核学会
四川核学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-4322
CN:
51-1311/O4
开本:
大16开
出版地:
四川绵阳919-805信箱
邮发代号:
62-76
创刊时间:
1989
语种:
chi
出版文献量(篇)
9833
总下载数(次)
7
总被引数(次)
61664
期刊文献
相关文献
1.
容性耦合射频放电等离子体的仿真模拟与实验诊断研究
2.
放电毛细管等离子体模拟研究
3.
远程氩等离子体表面灭菌研究
4.
不同初始温度下氩等离子体演化过程研究
5.
介质阻挡放电等离子体防除冰实验研究
6.
EAST等离子体放电涡流计算
7.
不同放电方式等离子体的灭菌效果研究
8.
钡钨空心阴极放电等离子体特性实验研究
9.
低温等离子体诊断分析
10.
低温等离子体放电的数值模型
11.
辉光放电等离子体灭菌技术的研究
12.
辉光放电等离子体特性的实验研究
13.
射频放电等离子体作用下CO2-H2的转化研究
14.
火药燃烧生成等离子体规律数值仿真研究
15.
氩等离子体技术降解玉米表面毒死蜱的研究
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
强激光与粒子束2022
强激光与粒子束2021
强激光与粒子束2020
强激光与粒子束2019
强激光与粒子束2018
强激光与粒子束2017
强激光与粒子束2016
强激光与粒子束2015
强激光与粒子束2014
强激光与粒子束2013
强激光与粒子束2012
强激光与粒子束2011
强激光与粒子束2010
强激光与粒子束2009
强激光与粒子束2008
强激光与粒子束2007
强激光与粒子束2006
强激光与粒子束2005
强激光与粒子束2004
强激光与粒子束2003
强激光与粒子束2002
强激光与粒子束2001
强激光与粒子束2000
强激光与粒子束1999
强激光与粒子束1998
强激光与粒子束2019年第9期
强激光与粒子束2019年第8期
强激光与粒子束2019年第7期
强激光与粒子束2019年第6期
强激光与粒子束2019年第5期
强激光与粒子束2019年第4期
强激光与粒子束2019年第3期
强激光与粒子束2019年第2期
强激光与粒子束2019年第12期
强激光与粒子束2019年第11期
强激光与粒子束2019年第10期
强激光与粒子束2019年第1期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号