微型化半球陀螺制备工艺发展现状及趋势分析

• 作者: 吕东锋 庄须叶 李平华 王世和
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 工学
• 关键词: 微半球陀螺 微谐振器 微机电系统 微加工工艺 壳体谐振器
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 52-60
• 页数: 9页
• 分类号: TN305.7|V448.2
• 字数: 5178字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2019.02.009

摘要

因低噪声、 高性能、 无磨损的优势,半球陀螺已成为航空、 航天领域内的最佳导航陀螺.半球陀螺的微型化是微机电陀螺领域的研究热点,全球各研究单位设计了多种形态的谐振器结构,开发了各具特色的加工工艺,其选用的材质也各不相同,并研制出了形态各异的微半球陀螺结构.对半球陀螺微型化的历程和方式进行了综述,着重对微型化半球陀螺壳体谐振器的结构形态、 工艺制备方法和选材进行了对比和分析,并对各微型化途径的特点进行了讨论和展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王世和		4	20	1.0	4.0
2	庄须叶		5	19	2.0	4.0
3	李平华		3	14	1.0	3.0
4	吕东锋		2	14	1.0	2.0