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摘要:
集成电路技术革新,对化学品等级要求越来越高,我们通过正确的选型,优化的设计,以及自动化控制,设计建造化学品生产系统,协助国产化学品厂商进口替代.
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 电子化学品制程系统设计
来源期刊 全面腐蚀控制 学科 工学
关键词 电子化学品 混酸装置 系统设计
年,卷(期) 2019,(1) 所属期刊栏目 经验交流
研究方向 页码范围 44-46,95
页数 4页 分类号 TQ421.2+3
字数 2495字 语种 中文
DOI 10.13726/j.cnki.11-2706/tq.2019.01.044.03
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 徐金伟 1 0 0.0 0.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
电子化学品
混酸装置
系统设计
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
全面腐蚀控制
月刊
1008-7818
11-2706/TQ
16开
北京朝阳区小营路9号C座509
1987
chi
出版文献量(篇)
4430
总下载数(次)
16
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