一种新型螺旋形分布式RF MEMS移相器的设计

• 作者: 唐立赫 张晓桐 张松 朱林 李旭 王大宇 胡天宇 苗峻 董自强
• 来源期刊: 无线电工程
• 学科: 工学
• 关键词: RFMEMS 移相器 MEMS开关 相控阵雷达
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 专题技术与工程应用
• 页码范围: 727-732
• 页数: 6页
• 分类号: TP391.4
• 字数: 3241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-3106.2019.08.017

摘要

针对传统的分布式射频(RF)微机电系统(MEMS)移相器结构可靠性较低、 平面面积较大、 对制作工艺要求较高的问题,设计了一种新型5位分布式RF MEMS移相器,对其螺旋形共面波导结构和31个MEMS开关组进行了简要介绍及仿真分析.移相器体积为2.6 mm×2.6 mm×0.505 mm,工作频率为40 GHz时,31个仿真相移量与设计目标相移量的误差小于3.72°,满足高频、 小面积、 低损耗和低成本的MEMS相控阵系统应用的需求.