基于FMECA的ZQJ-291H型氦质谱检漏仪可靠性分析

• 作者: 刘胜 崔寓淏 王凯
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 氦质谱检漏仪 FMECA 可靠性分析
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TB774
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.03.11

摘要

本文通过故障模式影响及危害性分析的方法对ZQJ-291H型氦质谱检漏仪各组成部分的不同故障进行分析,研究其对系统工作状态的影响.意在识别设备使用过程中的薄弱环节,为该型氦质谱检漏仪的设计、制造、使用等环节提高可靠性的改进提供有效依据.研究结果表明,影响ZQJ-291H型氦质谱检漏仪可靠性的主要因素为泵油退化和离子源老化,因此建议对离子源损耗方面加大研究力度,进而提高检漏仪的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔寓淏		8	2	1.0	1.0
2	王凯		18	16	3.0	3.0
3	刘胜		5	3	1.0	1.0