光栅加速度计线性驱动的磁路结构

• 作者: 刘迪 周震
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 磁路结构 光栅加速度计 线性驱动 机加工
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 光电测量与检测
• 页码范围: 60-63
• 页数: 4页
• 分类号: TN29
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2019.03.060

摘要

为了降低测量信号的非线性误差,便于线性控制系统的实现,通过设计一种产生恒定磁场的磁路结构,搭配通电线圈产生电磁力完成光栅加速度计的线性驱动.相较于传统的静电驱动方式,磁电驱动与光栅检测技术结合实现加速度传感方案较为新颖,磁路结构的机加工方式相比于静电极板的微加工方式更为简单.同时,相同的加速度变化量,磁电驱动方式所需的电压远远小于静电驱动方式的电压,降低了供电电压的要求.加工完毕的磁路结构中,可供线圈利用的磁感应强度大小达0.5T,线性度系数达0.999,实现了加速度计的线性驱动.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周震	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	26	58	4.0	7.0
2	刘迪	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	4	9	2.0	3.0