静态累积比较法真空漏孔校准方法研究

• 作者: 冯天佑 吉康 孙雯君 成永军 赵澜 陈联
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 静态累积比较 真空漏孔 校准方法
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TB774
• 字数: 3482字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.03.10

摘要

静态累积比较法校准真空漏孔是通过四极质谱计测量标准气体流量计与被校真空漏孔累积过程中离子流变化量而实现的.本文主要介绍了静态累积比较法真空漏孔的校准方法、装置原理、校准过程、校准结果的处理等,并提出了减小测量不确定度的影响因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈联		24	56	4.0	6.0
2	成永军		34	75	6.0	7.0
3	赵澜		14	25	3.0	4.0
4	孙雯君		16	34	4.0	5.0
5	冯天佑		6	5	2.0	2.0
6	吉康		3	3	1.0	1.0